Home > ACTATTPU > Vol. 10 (2020) > Iss. 2
Acta of Turin Polytechnic University in Tashkent
Article Title
КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЯ МАЛОУГЛОВОЕ РАССЕЯНИЯ ИОНОВ AR С ДЕФЕКТНОЙ ПОВЕРХНОСТИ INP(001)
Abstract
В приближении парных столкновений проведено моделирование траекторий ионов Ar+, рассеянных с поверхностей InP(001)<110> . Показано, что характерные траектории ионов, рассеянных с поверхности двухкомпонентного монокристалла, определяются, в основном, кристаллографическими направлениями, которые существенно влияют на процессы рассеяния и нейтрализации ионов. Рассчитаны энергетические и угловые распределения малоуглового рассеяния ионов Ar+ на поверхности монокристалла InP(001) с Е0 = 5 кэВ. Установлено, что в энергетическом распределении можно четко выделить вклад приповерхностной области в рассеяние ионов, вызывающий появление нескольких дискретных пиков в низкоэнергетической части спектра.
Recommended Citation
Каримов, М and Кутлиев, У
(2020)
"КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЯ МАЛОУГЛОВОЕ РАССЕЯНИЯ ИОНОВ AR С ДЕФЕКТНОЙ ПОВЕРХНОСТИ INP(001),"
Acta of Turin Polytechnic University in Tashkent: Vol. 10
:
Iss.
2
, Article 12.
Available at:
https://uzjournals.edu.uz/actattpu/vol10/iss2/12